原子力顯微鏡通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對微弱力敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運動狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時，利用傳感器檢測這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級分辨率獲得表面形貌結(jié)構(gòu)信息及表面粗糙度信息。 核心組件
探針：通常是半徑在10納米以下的懸臂梁，靠近樣品表面時，其原子與樣品表面原子間會產(chǎn)生范德華力、靜電力、化學(xué)鍵作用力等多種力。
激光束反射系統(tǒng)：一束激光照射到懸臂背面并反射到光電二極管陣列上。當(dāng)懸臂因表面作用力發(fā)生彎曲時，反射光斑在四象光電探測器上的位置會改變，由此轉(zhuǎn)化為可測量的信號。
壓電陶瓷掃描臺：實現(xiàn)高精度的三維掃描，使探針沿x、y方向逐行移動，同時通過z軸反饋回路控制探針與樣品間的距離，保持相互作用力恒定，進(jìn)而生成包含表面形貌信息的三維圖像。
在原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)域，國內(nèi)外有多家具備技術(shù)實力和市場影響力的廠家。
蘇州飛時曼精密儀器有限公司
技術(shù)優(yōu)勢：核心產(chǎn)品包括FM-NanoviewRa-AFM拉曼一體機(jī)，分辨率達(dá)XY向0.2nm、Z向0.05nm，支持?jǐn)U展至50μm×5μm掃描范圍。擁有自主知識產(chǎn)權(quán)30多項，研發(fā)的多款產(chǎn)品通過CE、ISO9001、SGS認(rèn)證。
應(yīng)用領(lǐng)域：覆蓋半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等，尤其在半導(dǎo)體器件形貌檢測中表現(xiàn)突出，可實現(xiàn)非破壞性高效測量。
服務(wù)與定制：提供專業(yè)級微納米顯微設(shè)備定制，售后服務(wù)響應(yīng)迅速，注重客戶需求匹配。
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